クリーンブースユニット内の空気清浄度を維持する方法とは？

エアーシャワー

クリーンのレベルが高いブースに入室する人物、持ち運ぶ荷物についている粒子や塵なども注意するべき点です。外部から侵入させないための基本的な対策としてエアーシャワーが挙げられます。

高速の風圧にて荷物や人の体についている埃などを飛ばし、侵入させないようにする設備です。

陽圧状態の維持

外よりも高い気圧の状態、いわゆる「陽圧」の状態にするのも基本的な運用に含まれます。維持するためには外の空気を処理して取り入れ、かつ同じ量の空気を外に排出しなければいけません。空気の循環があるため、フィルターは必須です。

クリーンスーツの着用

作業している人物から塵や埃を発生させないように、クリーンスーツを着用するのも基本です。自分自身でも気が付かないうちに髪の毛などは落ちてしまいます。一般的な仕事の作業時間である8時間、ずっとクリーンルームにいるとどうしても抜け毛などが発生する可能性があるため、クリーンスーツの着用が欠かせません。

荷物の持ち込み禁止

日常生活で利用するハンカチやティッシュなども、粒子の発生要因になるので原則的に持ち込めません。あらかじめクリーンペーパーを持ち込む、設置している電子機器で代用するなど、持ち込むもの以外で対応する必要があります。

粒子がないか確認する

専用のライトで室内を照らせば、粒子を確認できます。クリーンルームの中に粒子や埃が存在していないか、定期的にチェックすることも清潔な環境を維持するポイントです。

持ち込まない

外部からクリーンブースへ塵や粒子などを持ち込まないというルールです。
上記で掲載しているエアーシャワーの設備に加えて、クリーンスーツの着用なども持ち込ませないための原則に含まれます。

なおクリーンスーツはただ着るだけではなく、正しい手順で着用しなければいけません。他にも私物の持ち込みも禁止にしているのは、「持ち込まない」原則に基づいています。

発生させない

クリーンブース内で塵や粒子などを発生させないという原則です。主にユニットの内部での動きが中心となります。無駄な動作を発生させず、クリーンスーツは常に着用したままで外さないのが基本です。また、塵や埃が発生するような機器はユニット内部で使用しません。

堆積させない

ブース内部に物が堆積されていると、塵や埃の発生原因につながります。使用する機器は使わなくなったら中に置かず、すぐに搬出することを意識します。また、内部では物を散らかさず、床におきっぱなしにするというのは禁止です。

帯電もトラブルにつながるため、常に除電しておきます。配線やパイプについては、内部が露出しないように注意しておくことも重要です。

排除する

万が一ブース内部で発生した塵や埃はすぐに排除します。使わなくなった物は中から搬出するというのも排除において重要です。

他にも換気の回数を多くして、内部から外へ排出させることも大切になってきます。特に、塵が発生しやすい場所の付近で廃棄すると効果的です。そもそも使用する部品にゴミが付着しないように、気流を発生させるようなレイアウトや設備の設置も行っておくべき対策に含まれます。